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储存柜
  • 科智立经深入研发实验,开发了适用于管理半导体晶圆的RFID放大器单元读取器,广州某光掩膜公司的晶圆盒储存柜使用的便是科智立RFID读取器,将RFID载体读写器部署在储存柜每层支撑板下方,当晶圆盒放入到储存柜的对位柱时,红外射线触发RFID载体读写器进入识别状态,立即识别晶圆盒上的CID载体,系统即可判断晶圆盒放置位置正确与否、判断晶圆盒是否在柜等,结合储存柜的温湿度、氧气氮气等传感器,便可实现晶圆盒的环境管理、柜位管理与信息化管理。